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第92章 56型接触式光刻机制成（第1页）

正式的光刻机组装比起从显微镜魔改难度自然不一样。

主要难点并非说是最后的组装，更多的在于自主零件的适配与工艺的达标。

工业基础条件落后，所带来的工业品差距是体现在方方面面的。

特种零件强度标准，公差标准等等，其实一上手就能感觉到跟英方的显微镜设备中的零件有差距。

好在沈永健这般镜头配件的组装下来，倒是还算顺利。

第一代接触式光刻机，他设计之初也考虑到了材料生产的难题，尽可能减少精密零件的需求。

“对的…好…没问题！”

“水平，垂直，基准面…都对上了！”

卓邵文在一旁替他把着精确度的标准，声音中带着一丝不易察觉的激动。

“邵文，帮我递一下光学镜头组和那个苏制的投影透镜也拿一下。”

沈永健指向自己旁边几个用绒布小心包裹的部件，不由地再次嘱咐道。

“小心，镜面绝不能沾灰或指纹。”

卓邵文依言，动作极其轻柔地拆开包装，配合着沈永健的动作，小心翼翼地将镜头与组件配装到一起。

这台正式的第一代光刻机，核心零配件皆来源自产，不过部分零件依旧选用从苏方进口的，例如那投影透镜。

国内倒不是没有能制造的工厂和实验室，只是效能上还是苏方的生产配件更佳。

反正眼下双方关系不错，这类相关的零配件，对方也挺大方，自然是先用更好的零件。

约莫四个小时后，天色渐暗。

厂里除了收制车间有夜班工人外，大都已经下班，外头也再无任何杂音，显得有些寂寥。

好在大家心头都是火热，沈永健这边工作已进入尾声。

“沈工，操作台，光源系统和遮光板都装好了，您看看位置？”

见沈永健动作终于停下，刘师傅的声音便已从身后响起。

他负责的是工作量最大且要求严苛的机械部分。

笨重的高压汞灯光源，复杂的冷却管路以及控制光路的精密遮光板机构。

沈永健起身前去，身前这个“大家伙”

已然有了光刻机的雏形。

随着他将电镜模组与各光学镜头模组安装完毕，观察投射在模拟硅片上的光斑形状和均匀度，再反复调整遮光板和聚光镜的位置。

“…再左移一点…好，停！

就是这个位置，固定死！”

在他果断下令后，刘师傅立刻用特制的工具将螺栓牢牢锁紧。