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“汤教授,您请继续。”
闻言,汤定远道:
“江教授为我们介绍过光刻胶的作用。”
“它直接决定。”
“集成电路的最小特徵尺寸、良率和工艺复杂度—”
他说完后。
迟疑了片刻。
接下来的话,等於是在反对江阳提出的方案。
这时,江阳笑道:
“汤教授,如果您有更好的方法,但说无妨。”
汤定远点了点头,道:
“那我就直说了。”
“根据我的研究,使用天然沥青+溶剂,解析度极低。”
“最后很大概率无法满足我们的研製需要—”
沥青胶是负性光刻。
紫外线引发交联反应,形成三维网格结构后。
曝光区域变得难溶於溶剂,且会被溶剂渗透,引发溶胀。
虽说面前也能实现光刻。
但结果几乎是可以预见的不如人意。
汤定远说完后,又道:
“原本我也不觉得有问题。”
“毕竟光刻对我们所有人来说,都是个新东西。”
“但江教授的一句话,给了我启发。”
“如果让曝光区域发生光解反应,效果会不会更好——”
听完汤定远的想法后,眾人陷入沉思。
江阳面色不变。
心中却惊讶不已,暗道:
“不愧其中,能一句话中想出这么多的东西。”
汤定远,华国半导体学科创始人之一。
还是红外技术研究的奠基人。
曾以三份书信,重塑华国红外事业的战略眼光,研究能力毋庸置疑。
这时。
下面一个和汤定远差不多年纪的中年男人,道:
“汤教授,您说得確实有道理。”
“但沥青胶我们好歹知道是什么。”
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