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但江阳反倒很平静,问道:“测试的数据怎么样?”
王志坚道:“光强波动≤±5%、清晰成像2μm线宽————”
他不断地。
念出各项数据。
每说出一个,大家脸上的笑容,都更深一分。
江阳听完后,道:“雷射干涉仪刚成功,工作檯运动精度,还有提高空间。
“使用的光刻胶。”
“目前也只是勉强满足需求,显影后测量残留胶————”
他说著说著。
忽然感觉周围非常安静。
抬头看去。
只见每个人,都拿出纸笔,开始记录。
见状。
江阳怔了怔,转而道:“但这些都可以慢慢去突破。”
“我们现在。”
“在世界半导体领域,应该处於领先地位了。”
听到最后的这句话。
所有人手中的笔,都停了下来。
他们望向实验室操作台上的近接式光刻机,目光恍惚。
——领先。
这个词在华国。
好像已经有一百多年,没有出现。
他们是落后的。
所以挨了很多的打,了很长的时间,付出了很多的牺牲。
正是因为这血的教训。
他们才要研究、要追赶、要反超!
想到这里。
实验室內的所有人,眼眶都有些微微泛红。
他们,做到了。
王寿吾看向江阳,郑重道:“江教授,我们马上开始集成电路的突破吧!”
“有了它!”
“我相信我们这次一定能够突破100集成度!”
他说完后。
其他研究人员,也是纷纷点头。
光刻机只是开始。
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